機台Move in & 新機Buy off-設備新手的試煉

機台Move in 前要準備什麼?

  • 確認設備的長、寬、高、重量,這些條件決定了要怎麼搬運機台,要用吊掛的還是用推的,電梯大小是否可以塞進機台、產線走道寬度是否足夠。
  • 設備使用的水、電、氣(Facility),要先請廠務端協助完成。
    ※需要用多少組電源:是單相三線、三相四線或是三相三線,電壓及電流。
    ※需要用多少組氣壓源:多少kg/cm2,一般的CDA還是有特殊要求(低溫會要求air露點溫度要達 到-60C(Dew point),不然機台會結霜)。
    ※需要用多少組冰水:冰水溫度及流量NL/min。
  • 確保都準備完成後,移入機台,接上電、氣、水開始新機Buy off。

新機Buy off的項目:

  • 低、常、高溫 Jam rate:通常客戶會提供Dummy IC給你跑Jam rate,為什麼要跑不同溫度,-55C低溫與150C以上的高溫兩者點位調整補償是不同的,因為機構會熱脹冷縮,客戶會要求1/200或1/1000(每個客戶要求不同),也就是說跑200~1000 IC內你只能觸發異常一次,超過一次就重新跑,這時候調整機台的功力慢慢就會被訓練起來。
  • UPH:新機時速度用100%去跑,這樣才可以看出機台穩定性,實際生產之後要降速在調整就好,很多問題在高速的情況下才會出現,有些客戶甚至要求100%放空跑一個晚上再來Buy off,交新機的時候要用心去感覺什麼叫做機台正常的聲音,方便日後比對異常。
  • 水平確認(厚薄規、深度規、壓力試紙):浮動頭水平至關重要,利用校正治具及深度規去確認浮動頭4點水平是否在±0.05mm內,水平直接影響良率,水平不好壓在大力都沒用,產品可能會吃單邊,造成良率不佳。
  • Contact force(荷重計Load cell):利用特殊治具及Load cell去確認設定Kg數與實際壓出來的重量是否一致,不同的公斤數會有不同的標準要清楚知道標準是多少。
  • 接地電阻(三用電錶):機構接地要求對半導體業來說非常重要,一是安全,漏電時可以把電導去地,二是保護產品不被波及,一般要求為1Ω內。
  • ESD靜電消散功能驗用(靜電消除監視儀(CPM):機構在移動或放料的時候都會產生靜電,必須靠離子風扇、槍或是離子bar將機台內的靜電消除,一般會用CPM去驗證靜電消散能力,CPM產生+1000V或-1000V,離子風扇要在3秒內從±1000V降至0V,靜電打死IC在半導體測試中是很嚴重的事。
  • 升降溫確認(溫度計):確保各個機構的溫度及均溫性與設定值相同,大多數會確認-55、-40、0、25、85、130、150C,這幾個溫度是比較常見的測試溫度標準為±1~±5度C,依照機構位置不同會有不同的標準。

通過上面重重的關卡,Buy off 20台新機後,你對機台熟悉度會提升很多,因為你開始認識到標準,懂得如何校正機台,然後漸漸摸熟軟體。

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